XEI SCIENTIFIC / CONTAMINATION CONTROL
TEM specimen chamber 내의 오염 제거
시료와 홀더를 cleaning 한 뒤에도 Hydro Carbon Contamination이 관찰 된다면,
TEM specimen chamber내의 오염을 고려해야합니다.
Evactron TEM Wand는 일반 시료 홀더처럼 side-entry goniometer에 삽입해 polepiece 영역에 oxygen radicals를 전달하는 in-situ plasma cleaning 솔루션입니다.
주요 특징
- Side-entry insertion — 표준 TEM/STEM side-entry 구조에 맞춘 삽입 방식
- Oxygen radical cleaning — ambient air를 사용해 탄화수소 오염 제거
- Vacuum operation — 컬럼을 vent하지 않는 plasma ignition
- Simplified operation — 별도 process gas와 LN₂ cold trap 없이 사용
Application
TEM/STEM 관찰 중 발생하는 carbon build-up 및 오염 아티팩트 관리.
장비별 호환성과 적용 조건은 상담을 통해 확인해 주세요.
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공식 자료: XEI Scientific · Evactron TEM Wand
